潔淨室工(gōng)程行(xíng)業(yè)是(shì)服務于高(gāo)科(kē)技(jì)、國(guó)計(jì)民(mín)生(shēng)的(de)常青産業( yè)，尖端科(kē)技(jì)的(de)發展與居民(mín)日(rì)常生(shēng)活質量的(de)提升無不(bù)有(yǒu)賴于潔淨技(jì)術(shù)發展作(zuò)為‍(wèi)其幕後的(de)支持。近(jìn)年(nián)來(lái)，随著(zhe)人(rén)們生(shβēng)活水(shuǐ)平的(de)逐步提高(gāo)，潔淨室相(xiàng)關技(jì)術(shù)也(yě)從(cóng)服務技(jì)術(shù)與産業(yè)高(gāo)端，逐漸向服務普φ通(tōng)工(gōng)作(zuò)和(hé)生(shēng)活領域擴展，在食品生(shēng)産和(hé)流通(tōng)各環節、高®(gāo)端裝備制(zhì)造、高(gāo)端商業(yè)寫字樓、大(dà)型數(shù)據中心、大(dà)型活動場£(chǎng)所，甚至美(měi)容化(huà)妝等領域都(dōu)取得(de)了(le)廣泛的(de)應用(yòng)。

潔淨室工(gōng)程行(xíng)業(yè)按照(zhào)客戶的(de)要(yào)求，提供對(®duì)微(wēi)粒、有(yǒu)害空(kōng)氣、細菌等污染物(wù)的(de)有(yǒu)效控制(zhì)，溫度、濕度、噪聲、照(zhào)度、潔淨度、室內(§nèi)壓差、氣流速度與氣流分(fēn)布、振動、靜(jìng)電(diàn)等各項指标均滿足安全生¶(shēng)産需求的(de)潔淨受控空(kōng)間(jiān)。潔淨室的(de)主要(yào)作(zuò)用(yòn§g)在于為(wèi)産品生(shēng)産(如(rú)矽芯片等)和(hé)服務提供所需環境的(de)潔淨程度，以及溫濕度β、微(wēi)震動、噪聲、照(zhào)度等各項指标，使相(xiàng)關産品和(hé)服務能(néng)夠在一(yī)個(gè)滿足要(yào)求的(de)、受控的(de)、良好(hǎo)的(d→e)環境空(kōng)間(jiān)中進行(xíng)生(shēng)産和(hé)操作(zuò)，從(cóng)≈而達到(dào)提高(gāo)産品生(shēng)産的(de)良品率，改善和(hé)提升相(xiàng)關服務質量的(de)目标。

潔淨室工(gōng)程主要(yào)包括潔淨室設計(jì)、施工(gōng)和(hé)運行(xíng)管理(lǐ)前後相(xiàng)關的(de)三≠個(gè)環節。質量源于設計(jì)，設計(jì)是(shì)核心。而潔淨工(gōng)程的(de)施工×(gōng)又(yòu)區(qū)别于一(yī)般的(de)建築工(gōng)程，包括圍護結構(俗稱“房(fáng)中房(fáng)”)；空(kōng)調淨化(huà)系統；供電"(diàn)、自(zì)控、弱電(diàn)系統；純水(shuǐ)、特氣、物(wù)料供應系統；廢氣、廢水(shuǐ)處理(lǐ)系統及相(xiàng)關設施。運行(xíng)管理(lǐ)‍包括：實時(shí)檢測，人(rén)員(yuán)培訓，設備維護，以保證受控的(de)生(shēng)産科(kē)研±環境持續符合要(yào)求。三個(gè)環節涵蓋了(le)空(kōng)态、靜(jìng)态、動态三個(gè)占有(yǒu)狀态•；環境受控又(yòu)融合了(le)風(fēng)險評估、生(shēng)産認證的(de)概念和(hé)程序；加之潔淨技(jì)術(shù)跨行(xíng)業(yè≥)、跨專業(yè)、跨學科(kē)的(de)特點：使之潔淨室工(gōng)程的(de)難度和(hé)複雜(zá)性增加。因此對(duì)于潔淨>室工(gōng)程行(xíng)業(yè)來(lái)說(shuō)，優化(huà)設計(jì)、現(xiàn)場(chǎng)施工(gōn★g)環境的(de)協調與管控、工(gōng)程相(xiàng)關技(jì)術(shù)細節的(de)經驗積累，對(duì)客戶需∑求的(de)理(lǐ)解和(hé)實現(xiàn)，以及對(duì)設計(jì)變更的(de)準備和(hé)響應程度等都(dō↕u)是(shì)衡量潔淨室施工(gōng)團隊能(néng)力的(de)重要(yào)指标。

1.我國(guó)潔淨室工(gōng)程行(xíng)業(yè)發展現(xiàn)狀

1.1行(xíng)業(yè)市(shì)場(chǎng)規模

從(cóng)目前我國(guó)潔淨室行(xíng)業(yè)市(shì)場(chǎng)發展來(lái)看(kàn)，​電(diàn)子(zǐ)信息、航空(kōng)航天、精密儀器(qì)、醫(yī)藥衛生(shēng)等行(xíng)業(yè)的(de)持續增長(cháng)≈，極大(dà)地(dì)推動了(le)潔淨室的(de)市(shì)場(chǎng)需求，進而帶動潔淨室工(gōng)程行(xíng)業(yè)的(de)大(dà)發展。根據中國(guó↓)電(diàn)子(zǐ)學會(huì)綜合測算(suàn)，2007年(nián)中國(guó)潔淨室工(gōng)程行(xíng)業(yè)整體(tǐ)市(shì)場(chǎng)規模為(wè i)217．14億元，盡管其間(jiān)受2008年(nián)全球金(jīn)融危機(jī)的(de)影(yǐng)響£，部分(fēn)行(xíng)業(yè)需求下(xià)降，波及到(dào)潔淨室工(gōng)程行(xíng)業(yè)，但(dàn)2009年(nián)下(xià)半年(nián)起，'受國(guó)家(jiā)發布電(diàn)子(zǐ)信息産業(yè)調整和(hé)振興規劃、電(diàn)子(zǐ)信息産品市(shì)場(chǎng)需求釋放(fàn∏g)等因素的(de)影(yǐng)響，行(xíng)業(yè)對(duì)潔淨室的(de)需求迅速恢複，使潔淨室工(gōng)程行(xíng)業(yè)市(shì)場®(chǎng)回暖。截止到(dào)2011年(nián)整個(gè)潔淨室工(gōng)程行(xíng)業(yè)市(shì)場(chǎng)規模達到(dào)387．77億元，五年≠(nián)間(jiān)的(de)年(nián)均複合增長(cháng)率平均為(wèi)15．6％。

1.2行(xíng)業(yè)技(jì)術(shù)水(shuǐ)平和(hé)特點

(1)更高(gāo)的(de)技(jì)術(shù)适應性與靈活性

科(kē)學技(jì)術(shù)的(de)發展很(hěn)快(kuài)，高(gāo)科(kē)技(jì)的(de)産品不(bù)斷出現(xiàn)，尤→其是(shì)電(diàn)子(zǐ)工(gōng)業(yè)的(de)發展更是(shì)日(rì)新月(yuè)異，像集成電(diàn)路(lù)的(de)發展兩三年(niá↕n)就(jiù)更新一(yī)代。IC芯片的(de)發展遵循“摩爾定律”(Intel公司創始人(rén)之一(yī)GordonE．Moore1965年(βnián)預言)，芯片上(shàng)可(kě)容納的(de)晶體(tǐ)管數(shù)目(即集成度)每18個(gè)月(yuè)便可(kě)增加1倍。

10年(nián)(2000年(nián)一(yī)2010年(nián))間(jiān)我國(guó)IC的(de)主流技(jì)術(shù)由5英寸、6英寸、0．5lam以上(shàng)×工(gōng)藝水(shuǐ)平提升到(dào)8英寸0．18lam～0．25m，12英寸、110nm~90nm～65nm。表征工(gōng)藝水(shuǐ)平的(de)小(xi•ǎo)線寬(即特征尺寸featUresiZe)，目前已進入納米(nm)級，“中芯國(guó)際”32／28nm已取得(de)關鍵技(jì)術(shù)突破，将在“十二五”中期進入量産。

TFT．LCD的(de)發展速度更快(kuài)，一(yī)二年(nián)就(jiù)上(shàng)一(yī)個(gè)台階：北(bě∏i)京京東(dōng)方n一(yī)LCD薄膜晶體(tǐ)管液晶顯示器(qì)5代線(基闆尺寸1100lnnl×1300mm)剛投産，即開(kāi)始建設合肥京東(dōng)方6‍代線(基闆尺寸1500mm×1850mm)；不(bù)到(dào)2年(nián)又(yòu)開(kāi)始北(běi)京京東(dōng)方8．5代線(基闆尺寸2200mm×2€500mm)的(de)建設。目前中電(diàn)熊貓正規劃TFT—LCD10代線(基闆尺寸2889mm×3130mm)的(de)建設。

這(zhè)就(jiù)要(yào)求為(wèi)其服務的(de)高(gāo)級别的(de)潔淨室必須能(néng)适應其發展速度♣，有(yǒu)極好(hǎo)的(de)靈活性和(hé)适應性，以滿足微(wēi)電(diàn)子(zǐ)、光(guāng)電(diàn)子(•zǐ)等生(shēng)産工(gōng)藝不(bù)斷發展進步的(de)要(yào)求。建造一(yī)個(gè)潔淨廠(chǎng)房(fáng)投入成♣本高(gāo)，使用(yòng)時(shí)問(wèn)長(cháng)，不(bù)是(shì)一(yī)二年(nián)就(jiù)會(huì)拆掉重建。

因此，在潔淨室設計(jì)與建造時(shí)必須考慮到(dào)生(shēng)産工(gōng)藝流程的(de)不(bù)斷發展和(→hé)變化(huà)，使潔淨室具備更好(hǎo)的(de)适應性和(hé)靈活性。對(duì)于潔淨室工(gōng)程行(xíng)業(yè)來₽(lái)說(shuō)，在施工(gōng)過程中，或者是(shì)在潔淨室使用(yòng)過程中，都(dōu)會(hu←ì)因為(wèi)生(shēng)産工(gōng)藝流程的(de)改變引起的(de)氣流組織、設備容量等方面的(de)變化(huà)而導緻設計©(jì)的(de)改變，而這(zhè)種變更需要(yào)在前期設計(jì)時(shí)預留好(hǎo)變更的(de)空(kōng)間(jiān)，否則将會(huì↓)為(wèi)後期的(de)改變埋下(xià)隐患。

(2)相(xiàng)關工(gōng)藝複雜(zá)，技(jì)術(shù)風(fēng)險大(dà)潔淨室通(tōng)常用(yòng)于對(duì)環境要(yào)求較高(gāo‌)、工(gōng)業(yè)流程複雜(zá)的(de)高(gāo)科(kē)技(jì)行(xíng)業(yè)，以及對(duì)人(rén)民(mín)群衆的(de)生(shēng)命健康造成™威脅的(de)醫(yī)療衛生(shēng)和(hé)食品行(xíng)業(yè)。在潔淨室受控空(kōng)間(jiān)中，λ偶爾有(yǒu)一(yī)個(gè)大(dà)分(fēn)子(zǐ)的(de)出現(xiàn)，或者是(shì)一(yī)個(gè)細菌的(de)産生(shγēng)都(dōu)會(huì)對(duì)成品率和(hé)人(rén)民(mín)的(de)生(shēng)命健康€造成巨大(dà)的(de)影(yǐng)響。如(rú)一(yī)個(gè)細菌如(rú)果得(de)不(bù)到(dào)及時(shí)的(de)處理(lǐ)，則可(kě)能(néng)在幾個(gè✔)小(xiǎo)時(shí)之內(nèi)就(jiù)會(huì)形成一(yī)個(gè)大(dà)的(de)菌落；而大(dà)粒子(zǐ)的(de)出現(xiàn)則有(yǒu)可'(kě)能(néng)造成一(yī)批次産品的(de)報(bào)廢，嚴重的(de)情況下(xià)甚至導緻潔淨室☆的(de)報(bào)廢。而在氣流組織中，如(rú)果人(rén)員(yuán)或半成品的(de)流動造成了(le)對(duì)潔淨室氣流的&(de)特殊擾動，就(jiù)會(huì)打破潔淨室內(nèi)部氣流平衡，引發各潔淨區(qū)域之間(jiān×)氣流的(de)串擾，造成難以估量的(de)損失。

(3)設計(jì)和(hé)施工(gōng)複雜(zá)，建造費(fèi)用(yòng)高(gāo)高(gāo)級别潔淨室的(de)建造費(fèi)用(yòng)很(hěΩn)高(gāo)，一(yī)般來(lái)說(shuō)，優于1O0級(FS209)單向流的(de)潔淨室，其室內(nèi)裝修(牆、頂、 地(dì)、門(mén)、窗(chuāng)等)和(hé)空(kōng)調淨化(huà)系統(包括制(zhì)冷(lěng)空(kōng)調設備和(>hé)管道(dào)配件(jiàn)、淨化(huà)設備和(hé)配件(jiàn)等)的(de)初投資大(dà)約為(wèi)人(rén)民(mín)币100∏00元／mz。如(rú)果加上(shàng)純水(shuǐ)制(zhì)備設備和(hé)系統管道(dào)，純氣發生(shēng)和(hé)系統管‌道(dào)，廢水(shuǐ)治理(lǐ)設備和(hé)管道(dào)，消防系統，供配電(diàn)和(hé)自(zì)控系統，真空(kōng)清掃系統，等等，其單位面積的(de)建造投資費(§fèi)用(yòng)高(gāo)達25000～30000元／m2。

3.2市(shì)場(chǎng)競争：由價格競争轉向價值競争

随著(zhe)電(diàn)子(zǐ)産品的(de)集成化(huà)、精密化(huà)、薄(微(wēi)φ)型化(huà)、功能(néng)化(huà)等趨勢，對(duì)元器(qì)件(jiàn)的(de)可(kě)靠性↔要(yào)求越來(lái)越高(gāo)，電(diàn)子(zǐ)信息制(zhì)造業(yè)對(duì)潔淨室的(de)要(yào)求标準也(yě)更加嚴格。←微(wēi)量(小(xiǎo))的(de)髒污或微(wēi)弱的(de)靜(jìng)電(diàn)都(dōu)有(yǒu)可(kě)能(néng)造成元器(qì)件(jiàn)λ産品良品率的(de)大(dà)幅降低(dī)，直接影(yǐng)響公司的(de)效益。目前硬盤磁頭的(de)靜(jìng)電(diàn)€壓阈值已經下(xià)降~1]3V以內(nèi)，部分(fēn)IC的(de)封裝環境要(yào)求達到(dào)Classl0(FS209)甚至Class1(FS209)的→(de)水(shuǐ)平。電(diàn)子(zǐ)信息行(xíng)業(yè)的(de)技(jì)術(shù)發展和(hé)高(gāo>)性能(néng)要(yào)求促使潔淨室工(gōng)程行(xíng)業(yè)企業(yè)由價格競争轉向技(jì)術(shù)競争，隻有(yǒu)具備技(jì)術&(shù)研發、自(zì)主創新能(néng)力的(de)企業(yè)才能(néng)滿足客戶需求而持續發展≤，才能(néng)設計(jì)和(hé)建造符合要(yào)求的(de)高(gāo)端的(de)潔淨室，相(xiàng∏)關技(jì)術(shù)和(hé)服務能(néng)力的(de)提升将成為(wèi)未來(lái)市(shì±)場(chǎng)競争的(de)焦點。

3.3市(shì)場(chǎng)需求：向節能(néng)方向發展

潔淨廠(chǎng)房(fáng)是(shì)我國(guó)的(de)耗能(néng)大(dà)戶之一(yī)。據不(bù)完全統計(jì)，潔淨室的(de)能(néng)耗是(γshì)一(yī)般寫字樓的(de)10—3O倍。我國(guó)的(de)8英寸芯片廠(chǎng)，潔淨室單位面積能(néng)耗比美(měi)國(guó)同類型工(gōng)廠(chǎng)高§(gāo)15％(美(měi)國(guó)耗能(néng)1．28kw／m1．63kW／m，而中國(guó)耗能(néng)1．48kW／m1．93kW／m)。以上(sh>àng)海(hǎi)某知(zhī)名芯片廠(chǎng)為(wèi)例，其全年(nián)耗電(diàn)β量的(de)51％是(shì)用(yòng)于潔淨室運行(xíng)及相(xiàng)關的(de)維護，如(rú)果将這(zhè)51％§的(de)能(néng)耗合理(lǐ)降低(dī)，對(duì)企業(yè)來(lái)說(shuō)就(ji©ù)意味著(zhe)利潤的(de)增長(cháng)。因此，潔淨室下(xià)遊相(xiàng)關行(xíng)業(yè)€企業(yè)越來(lái)越重視(shì)潔淨室的(de)節能(néng)問(wèn)題。這(zhè)就(jiù)要(yào)求潔淨室工(gōng)φ程行(xíng)業(yè)企業(yè)，從(cóng)客戶需求出發，從(cóng)設計(jì)理(lǐ)念、建造施工(gōng)、設備配備及運行☆(xíng)等各個(gè)方面進行(xíng)節能(néng)設計(jì)，隻有(yǒu)采取全方位的(de)節能(néng)技(jì)術(shù)"，整個(gè)潔淨室行(xíng)業(yè)才能(néng)持續、良性發展。

3.4技(jì)術(shù)走勢：向空(kōng)氣分(fēn)子(zǐ)控制(zhì)等高(gāo)端潔淨室工(gōng)程技(jì)術(shù)發展

空(kōng)氣分(fēn)子(zǐ)污染AMC作(zuò)為(wèi)IC工(gōng)廠(chǎng)所關心的(de)問(wèn)題于20年(nián)前先由日(r∞ì)本人(rén)提出，近(jìn)年(nián)來(lái)，世界Ic卡技(jì)術(shù)發展迅速，IC芯片日(rì)益微(wēi)型化(huà)，目前已經有(yǒu)赢徑為(wèi)÷0.4lilln的(de)世界小(xiǎo)的(de)非接觸型無線射頻(pín)識别芯片。AMC對(duì)當前的(de₽)IC生(shēng)産其潛在的(de)污染比粒子(zǐ)污染要(yào)廣泛多(duō)，粒子(zǐ)污染控制(zhì)隻需要(yào)确定粒徑及個(gè)數(shù)，但(dàn)對(duì✔)AMC控制(zhì)而言，除了(le)受芯片線寬的(de)縮小(xiǎo)而變化(huà)外(wài)，并受工(gōng)藝、工(gōng)藝設備、工(gōng)藝材料及傳送系統等←的(de)影(yǐng)響；更有(yǒu)甚者用(yòng)于某一(yī)工(gōng)序的(de)各種工(gōng)藝材料(化​(huà)學品、特種氣體(tǐ)等)在很(hěn)多(duō)情況下(xià)其微(wēi)量的(de)分(fēn)子(zǐ)殘餘對(duì)下(xià)一(yī)工(gōng)序往往可✘(kě)能(néng)就(jiù)是(shì)污染物(wù)。因此，IC生(shēng)産過程中的(de)某些(xiē)加工(gōng)工(gōng)序及工(gō↓ng)序問(wèn)的(de)材料傳送和(hé)存放(fàng)環境中，AMC已成為(wèi)嚴重影(yǐn$g)響成品率的(de)重要(yào)問(wèn)題，AMC分(fēn)子(zǐ)控制(zhì)技(jì)術(shù)成為(w<èi)潔淨室設計(jì)與施工(gōng)建設的(de)主流趨勢。目前，國(guó)內(nèi)的(de)潔淨室工(gōn g)程行(xíng)業(yè)企業(yè)中已經開(kāi)始從(cóng)事(shì)此方向的(de)研究。在該領域比較的(de)企業(yè)有(yǒu)，亞翔系統集成科(kē)技(jì)(∏蘇州)股份有(yǒu)限公司，可(kě)以說(shuō)在分(fēn)子(zǐ)淨化(huà)技(jì)術(shù)方面該公司已經走在了(le)同行(xíng)業(yè)的(dδe)前列。而中國(guó)電(diàn)子(zǐ)工(gōng)程設計(jì)院則在防微(wēi)震¥方面技(jì)術(shù)。