潔淨技(jì)術(shù)又(yòu)稱為(wèi)生(shēng)産環境和(hé)污染控制(zhì)技(jì)術(shù)，是(shì)近(jìn)二、三十年(n♥ián)來(lái)随著(zhe)高(gāo)新技(jì)術(shù)發展起來(lái)的(de)一(yī)門(mén)綜合性©的(de)新興科(kē)學技(jì)術(shù)。潔淨技(jì)術(shù)專門(mén)研究并提供潔淨的(de)生(shēng)産工(gōng)藝環境和(✘hé)生(shēng)産過程中使用(yòng)的(de)各種高(gāo)純介質，有(yǒu)效地(dφì)控制(zhì)微(wēi)量雜(zá)質，以保證高(gāo)科(kē)技(jì)産品的(de)成品率和(hé)可(kě)靠性。潔淨技(jì)術(shù)通(tōng↑)常包括：空(kōng)氣淨化(huà)技(jì)術(shù)、空(kōng)調技(jì)術(shù)、水(shuǐ)純化(huà)技(jì)術(shù)、氣體(tǐ)"純化(huà)技(jì)術(shù)、微(wēi)量雜(zá)質控制(zhì)技(jì)術(shù)、潔淨環境的(de)監測技(jβì)術(shù)及相(xiàng)關的(de)環境質量的(de)控制(zhì)技(jì)術(shù)。淨化(huà)工(gōng)程技(jì)術(shù)在•電(diàn)子(zǐ)、核子(zǐ)、航空(kōng)航天、生(shēng)物(wù)工(gōng)程、制(zhì)藥、精密機(jī)械、化(huà)工(gōng)、食品、汽車(chē)∑制(zhì)造等高(gāo)科(kē)技(jì)工(gōng)業(yè)領域及現(xiàn)代科(kē)學領域中得(de)到(dào)廣泛應用(yòng)。 對(duì)于半導體(tǐ)設ε備來(lái)講，淨化(huà)工(gōng)程技(jì)術(shù)在微(wēi)電(diàn)子(zǐ)技(jì)術(shù)中起著(zhe)十分(fēn)重要(yào)的(de)作(zuαò)用(yòng)。微(wēi)電(diàn)子(zǐ)技(jì)術(shù)的(de)核心是(shì)集成電β(diàn)路(lù)，而集成電(diàn)路(lù)的(de)生(shēng)産對(duì)其工(gōng)藝環境和(hé)工(gōng)藝流程中的(de)淨化(huà)技‌(jì)術(shù)和(hé)設備提出了(le)嚴格的(de)要(yào)求。我國(guó)“九五”期間(jiān)大(dà)力發展以微(αwēi)電(diàn)子(zǐ)為(wèi)重點的(de)信息産業(yè)。淨化(huà)工(gōng)程技(jì)術(shù)水(shuǐ)平在某種意義上(shàng)已成為(wè→i)衡量一(yī)個(gè)國(guó)家(jiā)和(hé)地(dì)區(qū)科(kē)學技(jì)術(shù✔)水(shuǐ)平和(hé)工(gōng)業(yè)水(shuǐ)平的(de)一(yī)個(gè)重要(yào)标志(zhì)。 ♠随著(zhe)我國(guó)人(rén)民(mín)生(shēng)活水(shuǐ)平提高(gāo)，人(rén)們對(duì)生(shēng)存環境及生(shēng)活質量提出‌了(le)越來(lái)越高(gāo)要(yào)求，用(yòng)水(shuǐ)純化(huà)設備制(zhì)備的(de)高(gāo)純水(shuǐ)已受到(dào)人$(rén)們普遍歡迎，淨化(huà)工(gōng)程技(jì)術(shù)已開(kāi)始進入千家(jiāπ)萬戶，進入人(rén)們的(de)現(xiàn)代生(shēng)活。 我國(guó)的(de)潔淨技(jì)術(shù)和(hé)設備與∞國(guó)外(wài)先進國(guó)家(jiā)相(xiàng)比差距是(shì)明(míng)顯的(de)，我國(guó)196↓5年(nián)才開(kāi)始生(shēng)産的(de)HEPA過濾器(qì)，比國(guó)外(wài)晚了(le)十五年(nián)。1975年(nián)開(kāi)始生(shēngσ)産的(de)光(guāng)散射塵埃粒子(zǐ)計(jì)數(shù)器(qì)比國(guó)外(wài)晚了(le)二十年(niá✔n)。0．1微(wēi)米潔淨技(jì)術(shù)和(hé)設備在國(guó)際上(shàng)先進國(guó)家(jiā)已成為(w★èi)成熟技(jì)術(shù)，我國(guó)則剛剛起步。