無塵淨化(huà)車(chē)間(jiān)能(néng)夠分(fēn)為(‌wèi)如(rú)下(xià)幾個(gè)級别：1級、百級、千級、萬級、十萬級、30萬級、百萬級。

    每立方米将小(xiǎo)于0.5微(wēi)米粒徑的(de)微(wēi)塵數(shù)目控制(zhì)在3500個(gè)如(rú¥)下(xià)，就(jiù)達到(dào)了(le)國(guó)際無塵規範的(de)A級。當前使用(yòng)在芯片級生(shēng)産加工(gōng)的(de)無塵規≤範對(duì)于灰塵的(de)要(yào)求高(gāo)于A級，這(zhè)樣的(de)高(gāo)标"主要(yào)被使用(yòng)在少(shǎo)許等級較高(gāo)芯片生(shēng)産上(shàng)。微(wēi)塵數(shù)目被嚴格控制(zhì)在每立方米1000個(gè)之內(n₩èi)，這(zhè)也(yě)即是(shì)業(yè)內(nèi)俗稱級别中的(de)千級。