無塵室(Clean Room)，亦稱為(wèi)無塵室或清淨室。它是(shì)污染控制(zhì)的(de)基礎。沒有(yǒu)無塵室，污染敏感零件(jiàn)不(bù)可(kě)能(né∏ng)批量生(shēng)産。在 FED-STD-2裡(lǐ)面，無塵室被定義為(wèi)具備空(kōng)氣過濾、分(fēn)配、優化(huà)、構造材£料和(hé)裝置的(de)房(fáng)間(jiān)，其中特定的(de)規則的(de)操作(zuò)程序以控制(zhì)空(kō∑ng)氣懸浮微(wēi)粒濃度，從(cóng)而達到(dào)适當的(de)微(wēi)粒潔淨度級别。無塵室是(sh&ì)指将一(yī)定空(kōng)間(jiān)範圍內(nèi)之空(kōng)氣中的(de)微(wēi)粒子(zǐ)、有(yǒu≥)害空(kōng)氣、細菌等之污染物(wù)排除，并将室內(nèi)之溫度、潔淨度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分(fēn)布、噪音(yīn)振動及照(zhào)明(mí<ng)、靜(jìng)電(diàn)控制(zhì)在某一(yī)需求範圍內(nèi)，而所給予特别設計(jì)之房(fá€ng)間(jiān)。無塵室

無塵淨化(huà)級别主要(yào)是(shì)根據每立方米空(kōng)氣中粒子(zǐ)直徑大(dà)于劃分(fēn)标準的(de)♦粒子(zǐ)數(shù)量來(lái)規定。也(yě)就(jiù)是(shì)說(shuō)所謂無塵并非100%沒有(σyǒu)一(yī)點灰塵，而是(shì)控制(zhì)在一(yī)個(gè)非常微(wēi)量的(de)單位上(shàng)。γ當然這(zhè)個(gè)标準中符合灰塵标準的(de)顆粒相(xiàng)對(duì)于我們常見(jiàn)的(de)灰塵已經是(shì)小(xiǎo)的(de)微(wēi)乎其微(wēi)&，但(dàn)是(shì)對(duì)于光(guāng)學構造而言，哪怕是(shì)一(yī)點點的(de)灰塵都(dōu)‌會(huì)産生(shēng)非常大(dà)的(de)負面影(yǐng)響，所以在光(guāng)學構造産品的∞(de)生(shēng)産上(shàng)，無塵是(shì)必然的(de)要(yào)求。

如(rú)表所示，每立方米将小(xiǎo)于0.5微(wēi)米粒徑的(de)微(wēi)塵數(shù)量控制(zhì)在3500個(gè)以下(xià)，就(jiù)達到(dàβo)了(le)國(guó)際無塵标準的(de)A級。目前應用(yòng)在芯片級生(shēng)産加工(gōnφg)的(de)無塵标準對(duì)于灰塵的(de)要(yào)求高(gāo)于A級，這(zhè)樣的(de)高(gāo)标主要(βyào)被應用(yòng)在一(yī)些(xiē)等級較高(gāo)芯片生(shēng)産上(shàng≠)。微(wēi)塵數(shù)量被嚴格控制(zhì)在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這(αzhè)也(yě)就(jiù)是(shì)業(yè)內(nèi)俗稱的(de)1K級别。