潔淨室是(shì)指将一(yī)定空(kōng)間(jiān)範圍內(nèi)空(kōng)氣中的(de)¥微(wēi)粒子(zǐ)、有(yǒu)害空(kōng)氣、細菌等污染物(wù)排除，并将室內(nèi)溫度、潔淨度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流∑分(fēn)布、噪音(yīn)振動及照(zhào)明(míng)、靜(jìng)電(diàn)控制(zhì)在某一(yī)需求↓範圍內(nèi)，而所給予特别設計(jì)的(de)房(fáng)間(jiān)。亦即是(shì)不(bù)論外(wài)在之空(kōng)氣條件(jià≠n)如(rú)何變化(huà)，其室內(nèi)均能(néng)俱有(yǒu)維持原先所設定要(yào)求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能(néng)之特性。

 潔淨室主要(yào)之作(zuò)用(yòng)在于控制(zhì)産品（如(rú)矽芯片等）所接觸之大(dà)氣的(de)潔淨度日(rì)及溫濕度，使♣産品能(néng)在一(yī)個(gè)良好(hǎo)之環境空(kōng)間(jiān)中生(shēng)産、制(zhì)造，此空(kōng)間(jiān)我們稱之‌為(wèi)潔淨室。按照(zhào)國(guó)際慣例，無塵淨化(huà)級别主要(yào)是(shì)根據每立方米空(kōng)氣中粒子(zǐ)直徑大(dà)于₹劃分(fēn)标準的(de)粒子(zǐ)數(shù)量來(lái)規定。也(yě)就(jiù)是(shì)說(shuō)所謂無塵并非100%沒有(yǒu)一(yī)點灰塵，而σ是(shì)控制(zhì)在一(yī)個(gè)非常微(wēi)量的(de)單位上(shàng)。當然這(zhè)個(gè)标準中符合灰塵↑标準的(de)顆粒相(xiàng)對(duì)于我們常見(jiàn)的(de)灰塵已經是(shì)小(xiǎo)的(de)微(wēi)乎其微(→wēi)，但(dàn)是(shì)對(duì)于光(guāng)學構造而言，哪怕是(shì)一(yī)點點的(de)灰塵都(dōu)會(huì)産生(shēng)非常大(dà)的(d∑e)負面影(yǐng)響，所以在光(guāng)學構造産品的(de)生(shēng)産上(shàng)，無塵是(shì)必然的(de)要(yào)求。

每立方米将小(xiǎo)于0.3微(wēi)米粒徑的(de)微(wēi)塵數(shù)量控制(zhì)在3500個 (gè)以下(xià)，就(jiù)達到(dào)了(le)國(guó)際無塵标準的(de)A級。芯片級生(shēng)産加工γ(gōng)的(de)無塵标準對(duì)于灰塵的(de)要(yào)求高(gāo)于A級，這(zhè)樣的(de)高(g®āo)标主要(yào)被應用(yòng)在一(yī)些(xiē)等級較高(gāo)芯片生(shēng)産上(shàng)。0.5uM及以下(↔xià)的(de)微(wēi)塵數(shù)量被嚴格控制(zhì)在每立方英寸1000個(gè)以內(nèi)，這(zhè)也(yě)就(ji✘ù)是(shì)業(yè)內(nèi)俗稱的(de)1K級别。