潔淨室的(de)檢測标準與測試方法介紹
日(rì)期:2019-07-22 來(lái)源:鑫統亞 分(fēn)享:

重慶潔淨室的(de)檢測标準與測試方法介紹

一(yī)、潔淨室的(de)空(kōng)氣潔淨度,應進行(xíng)下(xià)列測試

(一(yī))空(kōng)态、靜(jìng)态測試

空(kōng)态測試:潔淨室已竣工(gōng),淨化(huà)空(kōng)氣調節系統已處于正常運行(xíng)狀态,室內(nèi)沒有(yǒu)工(gōng)藝設備和(hé)生(shēng)産人Ω(rén)員(yuán)的(de)情況下(xià)進行(xíng)測試。

靜(jìng)态測試:潔淨室淨化(huà)空(kōng)氣調節系統已處于正常運行(xíng)狀态,工(gōngδ)藝設備已安裝,室內(nèi)沒有(yǒu)生(shēng)産人(rén)員(yuán)的(de)情況下(xià)進行(xíng)測γ試。

(二)動态測試潔淨室已處于正常生(shēng)産狀态下(xià)進行(xíng)測試。

潔淨室的(de)風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的(de)檢測,可(kě)按一(yī)般通(tōng)用(yòng)、空(kōσng)氣調節的(de)有(yǒu)關規定執行(xíng)。

二、空(kōng)态、靜(jìng)态測試

(一(yī))測試前的(de)準備

1、應對(duì)潔淨室及其淨化(huà)空(kōng)氣調節系統進行(xíng)徹底清潔。

2、采用(yòng)光(guāng)散射粒子(zǐ)計(jì)數(shù)器(qì)對(duì)高(gāo)效空(kōng)氣過濾器(qì)進行(xíng)檢漏測試。首先測定高(gāo)效空(k ōng)氣過濾器(qì)的(de)上(shàng)風(fēng)側靜(jìng)壓箱內(nèi)(或風(fēng)管內(nèi))粒徑大(dà)于₩或等于0.5微(wēi)米的(de)塵粒數(shù)應為(wèi)大(dà)于或等于30,000粒/升¶。如(rú)若不(bù)夠,可(kě)引入煙(yān)霧,然後開(kāi)始檢漏。将粒子(zǐ)計(jì)數(shù)器(qì)(或檢漏裝β置)的(de)采樣口距離(lí)高(gāo)效空(kōng)氣過濾器(qì)2--3厘米處,可(kě)以2~4厘米/秒 (miǎo)的(de)速度移動,對(duì)高(gāo)效空(kōng)氣過濾器(qì)整個(gè)斷面封頭膠處和(hé)安裝框架處進行(xíng)掃描。

當粒子(zǐ)計(jì)數(shù)器(qì)讀(dú)數(shù)為(wèi)空(kōng)氣口大(dà)于或等于0.5微(✔wēi)米的(de)塵粒超過3粒/分(fēn)·升(或其穿透率大(dà)于0.01‰)即認為(wèi)該處有(yǒu)明(míng)顯滲漏,必須進行(xíng)堵漏。

(二)測試內(nèi)容

1、總送風(fēng)量、總回風(fēng)量、新鮮空(kōng)氣量、排風(fēng)量等;

2、潔淨室壓力值;

3、層流潔淨室斷面風(fēng)速和(hé)氣流流向;

4、潔淨工(gōng)作(zuò)區(qū)的(de)潔淨度;

5、室內(nèi)溫度、濕度及其控制(zhì)能(néng)力的(de)調整測試;

6、潔淨室內(nèi)噪聲。

(三)潔淨工(gōng)作(zuò)區(qū)空(kōng)氣潔淨度的(de)測試方法對(duì)于粒徑大(dà)于>或等于0.5微(wēi)米的(de)塵粒計(jì)數(shù),宜采用(yòng)光(guāng)散射粒子(zǐ)計(jì)數(shù)法。對(duì)→于粒徑大(dà)于或等于5微(wēi)米的(de)塵粒計(jì)數(shù)。也(yě)可(kě)采用(yòng)濾膜顯微(wēi)鏡計(jì)數(shù)法。光(guāng)散射粒子(zβǐ)計(jì)數(shù)法:

1、光(guāng)散射粒子(zǐ)計(jì)數(shù)器(qì)采樣量100級:每次采樣量大(dà)于或等于1升。l,000級-l0,♦000級:每次采樣量大(dà)于或等于0.3升。100,000級:每次采樣量大(dà)于或等于0.1升。對(duì)'于100級潔淨室,宜采用(yòng)大(dà)流量粒子(zǐ)計(jì)數(shù)器(qì)進行(xíβng)測試;如(rú)果條件(jiàn)不(bù)具備時(shí),可(kě)采用(yòng)每次采樣量不(bù)小(xiǎo)于1升的(de)粒子(zǐ)計(jì)數(shù)器(qì)♠。

2、采樣注意事(shì)項:

(1)采樣管必須幹淨,連接處嚴禁滲漏。

(2)采樣管的(de)長(cháng)度,應根據儀器(qì)的(de)允許長(cháng)度。當無規定時(shí),不(bù)宜大(d∏à)于1.5米。

(3)采樣管口的(de)流速,宜與潔淨室斷面平均風(fēng)速相(xiàng)接近(jìn)。測試人(rén)員(yuán)應在采樣口的(de)下(xià)風(fΩēng)側。

(4)采樣順序應按含塵濃度從(cóng)低(dī)到(dào)高(gāo)進行(xíng)。

3、測點布置

(l)檢測在潔淨工(gōng)作(zuò)區(qū)內(nèi)進行(xíng)。當生(shēng)産工(gōng)藝無特殊要(yào)求♦時(shí),取樣高(gāo)度宜為(wèi)離(lí)地(dì)面1米

(2)層流潔淨室測點總數(shù)不(bù)小(xiǎo)于20點,測點間(jiān)距為(wèi)0.5~2.0米,粒徑大(dà)于或等δ于0.5微(wēi)米的(de)塵粒數(shù)允許有(yǒu)一(yī)個(gè)點超過。水(shuǐ)平層流潔淨室測點僅布置在一(yī)潔淨工(gōng)作(zuò)區(qū)內(nèi)。δ

(3)亂流潔淨室可(kě)按潔淨面積小(xiǎo)于或等于50平方米布置5個(gè)測點(附圖2)。每ε增加20-50平方米,增加3--5個(gè)測點。

4、數(shù)據整理(lǐ)

(1)每個(gè)測點的(de)數(shù)據整理(lǐ)應在測試儀器(qì)穩定運行(xíng)的(de)條件(jiàn)下(xià)連續三次采樣,取其平均值,即為(wèi)該§點的(de)實測數(shù)值。

(2)對(duì)于大(dà)于或等于0.5微(wēi)米的(de)塵粒數(shù)确定:層流潔淨室取各測定點大(dà)值,亂流潔淨¥室取各測點的(de)平均值。

(四)正壓值測定應采用(yòng)精度可(kě)達0.01毫米水(shuǐ)柱的(de)微(wēi)壓計(↓jì)。

三、動态測試。在潔淨工(gōng)作(zuò)區(qū)操作(zuò)位置選擇有(yǒu)代表性測點的(de)氣流♣上(shàng)風(fēng)向進行(xíng),測試方法同空(kōng)态、靜(jìng)态測試。