無塵室(Clean Room)，亦稱為(wèi)無塵室或清淨室。它是(shì)污染控制(zhì)的(de)基礎。沒有(yǒu)無"塵室，污染敏感零件(jiàn)不(bù)可(kě)能(néng)批量生(shēng)産。在 FED-STD-2裡(lǐ)面，無塵室被定義為(wèi)具備≈空(kōng)氣過濾、分(fēn)配、優化(huà)、構造材料和(hé)裝置的(de)房(fáng)間(jiān)，其中特定的(de)©規則的(de)操作(zuò)程序以控制(zhì)空(kōng)氣懸浮微(wēi)粒濃度，從(cóng)而達到(dào)适當的(de)微(wēiγ)粒潔淨度級别。

無塵室是(shì)指将一(yī)定空(kōng)間(jiān)範圍內(nèi)之空(kōng)氣中的(de)微(wēi)粒子(zǐ)、有(yǒu)害空(kōng•)氣、細菌等之污染物(wù)排除，并将室內(nèi)之溫度、潔淨度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分(fēn♣)布、噪音(yīn)振動及照(zhào)明(míng)、靜(jìng)電(diàn)控制(zhì)在某一(yī)需求範圍內(nèi)，而所給予特别設計(jì)之房(fáng)間(ji£ān)。

潔淨室：溫度、濕度、壓力（壓差）、潔淨度、浮遊菌、沉降菌受控的(de)空(kōng)間(jiān)。兩者沒有(yǒu)本質的(de≤)區(qū)别，但(dàn)适用(yòng)标準、等級有(yǒu)所差異。